1.不攜入在無塵室內不攜入微粒子的方法有：

　　1）作業(yè)員進入無塵室前，機臺、零件攜入前應進行清潔處理；

　　2）進入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產生靜電的具特殊導電性纖維材質的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。

　　3）通過風淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進入無塵室。

　　4）機器及材料帶進無塵室前，應盡可能在密封狀態(tài)下帶進無塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭，經風淋室吹淋后才進入無塵室。

　　5）無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。

　　2.不發(fā)生在控制大污染源--人在無塵室內的微粒子發(fā)塵量的同時，也應控制第二大污染源—制造機臺的發(fā)塵量。因物品在移動時，所產生的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵，而物品在移動時也會有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達到小限度應采取以下對策：

　　1）減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài)；

　　2）采用磨耗發(fā)塵小的材質；

　　3）采用發(fā)塵小的潤滑油；

　　4）機臺應用空壓浮上的非接觸化工作原理。

　　3.不儲備若能*實施“不攜入”技術，無塵室內的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動，在廣大的無塵室內要有*潔凈度是不可能的。因此“不儲備”技術快速地在過濾器中應用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動及不穩(wěn)定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起，增加了重大微粒子污染的危險性。無塵室內的浮游微粒子濃度，使用高性能的過濾器即可容易達到零水平，實際的生產現(xiàn)場由于作業(yè)者、機器、周邊機械的發(fā)塵及基板運送時所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚起了少許的微粒子，因而造成了元件清潔面的粒子污染。在高等級的無塵室中從天花板到地面，*除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動。這是在約10秒內將室內空氣和*過濾空氣*交換所計算出來的數(shù)值。同時，空氣的流向也必須要有準確的控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻，因為在流通路徑中有障礙物的話，容易產生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域，使得附近已發(fā)生的微粒子無法快速排除而長時間漂流在無塵室內，而一部分會附著在周邊機器設備的表面而引起污染。控制氣流可防止微粒子累積，但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。無塵室內的浮游微粒子濃度，使用高性能的過濾器即可容易達到零水平，實際的生產現(xiàn)場由于作業(yè)者、機器、周邊機械的發(fā)塵及基板運送時所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚起了少許的微粒子，因而造成了元件清潔面的粒子污染。

　　4.潔要求

　　（1）清潔潔凈室內的墻時應使用潔凈室無塵布；

　　（2）用90％去離子水和10％的異丙醇配置清潔劑；

　　（3）使用已獲批準的潔凈室去污劑；

　　（4）每天都要檢查車間和整備間的垃圾箱，并及時清走。

　　（5）每塊地板都要吸塵。每次交接班時，都應在地圖上標明工作完成情況，例如在哪結束從哪開始。

　　（6）清潔潔凈室的地面應使用拖把。

　　（7）在潔凈室里吸塵應使用帶有高效過濾器的真空吸塵器。

　　（8）所有的門都需要檢查并擦干